SiView

MM ist das Produktionsmanagement in der Fertigung und unterstützt 16 Betriebsarten, von der manuellen Offline-Produktion bis zur vollautomatischen Großserienproduktion. MM enthält über 400 reichhaltige Geschäftslogikelemente zur Verwaltung von Objekten in Wafer, Lot, FOUP und Equipment, mit Echtzeitkontrolle und -verfolgung von WIP, Produkt, Auftrag und Prozess.

Erkennen und Reagieren (EuR) ist ein Entwicklungs- und Laufzeit-Framework für die Behandlung von Fabrikereignissen, das die Auslastung und Effizienz der Fertigung verbessert. Mit EuR können Benutzer Workflows erstellen, um Geschäftsereignisse in bestehenden Systemen zu erkennen (z. B. MM), Business Rules ausführen und in Echtzeit auf Fabrikressourcen reagieren. Solche Workflows können kontinuierlich ohne Systemausfall eingeführt werden.

SiView Erweiterte Prozesssteuerung (EPS) ist bereits in MM/DCS integriert und unterstützt die Implementierung von Java/BPEL für die Geschäftslogik. Darüber hinaus können extern entwickelte mathematische Modelle (z. B. MATLAB) als Bibliothek übernommen werden. Auf diese Weise können Mitarbeiter aus Technik, Wissenschaft und Wirtschaft schnell und effektiv an Prozesssteuerungsmodellen arbeiten.

SiView Hohe Verfügbarkeit und Skalierbarkeit (HVS) unterstützt Clustering von CORBA-Serverprozessen (z. B. MM-Server). HVS erkennt automatisch den Ausfall von CORBA-Server-Prozessen und stellt diese wieder her und bietet eine flexible Erweiterung des CORBA-Servers. Im Rahmen der HVS-Konfiguration können Anwendungsänderungen zur Behebung und Erweiterung vorgenommen werden, ohne die Produktionsaktivitäten zu beeinträchtigen.

Das SiView Maschinenüberwachungsprogramm (tMSP) ist ein SiView-Standardangebot für Anwendungen von Fertigungswerkzeugsteuerungen, das die Kommunikation zwischen einem Gerät (Werkzeug) und dem MES steuert. SiView Standard wird auf einer ereignisgesteuerten, serviceorientierten Logik-Engine mit mehreren Threads ausgeführt und nutzt Plug-ins zur Unterstützung der Geschäftslogik. Darüber hinaus bietet SiView Standard eine Sammlung von einsatzbereiten Modulen, die viele gängige Kommunikationsprotokolle unterstützen, sodass sich Anwendungsentwickler auf die Geschäftslogik konzentrieren können. tMSP entspricht dem SECS- oder HSMS-Protokoll und unterstützt den GEM-Standard.

SiView Produktionsdynamik-Simulator (PDS bzw. WIP-Simulator) ist ein diskreter Ereignissimulator zur Vorhersage detaillierter Chargenbewegungen, der Werkzeugauslastung und einer Momentaufnahme der in Bearbeitung befindlichen Chargen in einer Halbleiterfabrik. SiView Standard bietet sofort einsatzbereite Hochgeschwindigkeitssimulationen, die Informationen liefern, die für die Entscheidungsfindung bei der kontinuierlichen Verbesserung des Fabrikbetriebs erforderlich sind, wie z. B. Kapazitätsplanung, WIP-Ausgleich, Durchsatzsteigerung, Durchlaufzeitverkürzung usw.

SiView Echtzeit-Disponierung (RTD) ist vorab in SiView MES integriert und bietet eine verbesserte intelligente Entscheidungsfindung als Reaktion auf sich ständig ändernde Bedingungen in der Fabrik. Mit einem browserbasierten Regeleditor ermöglicht RTD den Anwendern die Erstellung und Definition von Geschäfts- und Betriebsregeln durch Ziehen und Ablegen von Symbolen aus einer umfangreichen Sammlung von Komponenten. Da RTD nur geringe Programmierkenntnisse erfordert, können sich die Engineers auf die Geschäftslogik konzentrieren und schnell auf Änderungen der Logik und der Fabrik reagieren.

Die webbasierte Statistische Prozesslenkung (SPC) führt die statistische Prozesskontrolle in Echtzeit unter Verwendung von Prozessdaten und Messdaten (vorintegriert mit MM) durch. Mithilfe integrierter Analysefunktionen hilft SPC dabei, das Auftreten von Fehlern vorherzusagen und den Ertrag durch Echtzeitüberwachung der Datentrends der Prozessanlagen zu verbessern.

Spezifikationsmanager (SM) bietet Funktionen zur Verwaltung von Build-Time-Spezifikationen zum Erstellen und Definieren von Vorgängen. Basierend auf SEMATECH CIM Framework unterstützt SM über 70 Klassen zur Erstellung und Definition von Halbleiterfertigungsszenarien mit flexiblen Versionskontrollen, Zugriffskontrollen und Archivlösungen. Diese Klassen umfassen Produkte, Prozesse, Routing, Anlagen, Personal sowie Betriebsspezifika.

XM (FOUP-Transport) und RXM (Reticle Transport), vorintegriert mit MM, bieten eine MTSC-Schnittstelle zur Verwaltung von FOUP und Retikeltransports in der Fertigungshalle. XM und RXM unterstützen den SEMI Equipment Communication Standard (SECS), den High Speed SECS Message Service (HSMS) und das Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM), die Standardschnittstelle für Geräte- und Materialtransportsysteme.