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IBM SiView Standard

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グローバル化している半導体製造をよりインテリジェントかつ高度なモダナイゼーションを可能にするIBM SiView Standard

ビジネス価値

複雑化が進むグローバル・エコシステムにおいて、企画から製造に至るまで、半導体企業がビジネス・チャンスを管理する上で直面する課題が増えています。需要量の増加は、マージンおよび平均販売価格(ASP)の低下というプレッシャーと相まって、メーカーが製品ポートフォリオを開発して管理する能力を妨げています。突然の需要の変化や生産の問題に対応できないことで、製造コスト全体が増加しています。世界中に存在する複雑な製造ラインすべてにわたる計画とスケジュールの策定はますます困難になってきています。

SiView Standardは、早い段階で半導体ラインを立ち上げて安定させることで、製造実行システム(MES)とプロセスを変革し、統合されたシステムによってサプライチェーン管理を改善します。また、完全に自動化されたウェハー枚葉制御によって競争力を提供し、1つのキャリアで複数のロットを処理するラインを構築できます。さらに、製造プロセスをサポートするための戦略上重要なソーシング、コラボレーション、エンタープライズ・リソース・プランニングの改善も可能です。SiView Standardは、現行のエンタープライズ・システムと統合してサプライチェーンと製造をより緊密に連携させるため、お客様は規模の経済を活用して、市場の変化に素早く対応できます。また、記録的な速さでのファブ立ち上げも実現します。


主要な機能

Specification Manager
Specification Manager (SM)は、オペレーションを作成して定義するために、ビルド時の仕様管理機能を提供します。SEMATECH CIMフレームワークをベースとするSMは、柔軟なバージョン管理、アクセス制御、アーカイブのソリューションによる半導体製造シナリオを作成して定義するために、70以上のクラスをサポートします。これらのクラスには、製品、プロセス、ルーティング、装置、人材、オペレーションの特性が含まれます。

Material Manager
Material Manager(MM)は、製造現場の生産管理を行い、手動の完全なオフラインから完全に自動化された大量生産まで、16のオペレーション・ モードをサポートしています。MMには、ウェハー、ロット、FOUP、半導体製造装置のオブジェクトを管理するために 400を超える機能豊富なビジネス・シナリオが組み込まれており、WIP、生産、ジョブ、プロセスをリアルタイムで制御・追跡する機能が備えられています。

Sense and Response
Sense and Response (SaR)は、工場で発生するイベント処理のための開発とランタイムのフレームワークで、製造設備の稼働率とスループットを向上させます。SaRにより、ユーザーは、既存のシステム(MMなど)のビジネス・イベントを検出して、ビジネス・ルールを実行し、工場のリソースにリアルタイムで対応するためのワークフローを作成できます。このようなワークフローを複数、システム停止を伴わずに追加導入できます。

Advanced Process Control
SiView Advanced Process Control (APC)は、MM/DCSと事前に統合されており、ビジネス・ロジック実装のためにJava/ワークフローをサポートします。さらに、外部で開発された計算モデル(MATLABなど)をライブラリーとして採用できます。これにより、エンジニアリング、データサイエンスの各分野の担当者が迅速かつ効率的にプロセス制御モデルに取り組むことができます。

High Availability Scalability
SiView High Availability Scalability (HAS)は、CORBAサーバー(MMサーバーなど)のクラスタリングをサポートします。HASは、CORBAサーバーのプロセス障害を自動的に検出して復旧し、CORBAサーバーを柔軟に拡張できるようにします。HAS構成では、フィックスや拡張のためアプリケーション変更を生産活動に影響を与えることなく、適用できます。

Machine Supervisory Program
SiView Machine Supervisory Program (tMSP)は、製造ツール制御アプリケーション向けのSiView Standardオファリングであり、製造設備とMESの間の通信を制御します。tMSPは、イベント・ドリブンのサービス指向マルチスレッド・ロジック・エンジンで稼働し、ビジネス・ロジックをサポートするためにプラグインを使用します。さらに、多数の一般的な通信プロトコルをサポートする、すぐに使用できるモジュールのコレクションを提供し、アプリケーション開発者がビジネス・ロジックに集中できるようにしています。tMSPは、SECSプロトコルまたはHSMSプロトコルに準拠し、GEM標準をサポートします。

Production Dynamic Simulator
SiView Production Dynamic Simulator (PDS、別名WIP Simulator)は、半導体工場における、詳細なロット移動、ツール使用状況、処理中の作業ロットのスナップショットを予測するための個別のイベント・シミュレーターです。SiView Standardは、キャパシティー・プランニング、WIPバランシング、スループット向上、リード・タイム短縮など、工場のオペレーションの継続的改善に関する意思決定に必要な情報を提供する、すぐに使用可能な高速シミュレーション機能を備えています。

Real Time Dispatching
SiView Real Time Dispatching (RTD)は、SiView MESに事前に統合されており、工場の絶え間なく変わる状況に対応するための高度でインテリジェントな意思決定エクスペリエンスを提供します。ブラウザー・ベースのルール・エディターで提供されるRTDにより、ユーザーは、多数のコンポーネントのコレクションからアイコンをドラッグ・アンド・ドロップすることで、ビジネス/オペレーションのルールを作成して定義することができます。RTDにはプログラミング・スキルがほとんど必要ないため、エンジニアは、ビジネス・ロジックに集中して、ロジックと工場の変化に素早く対応できます。

Statistical Process Control
WebベースのStatistical Process Control (SPC)は、プロセス・データと測定データを使用してリアルタイムの統計的プロセス制御を実行します(MMに事前に統合されています)。SPCは、標準装備の分析機能を使用して、欠陥の発生の予測と、処理設備のデータ傾向のリアルタイム・モニターによる歩留まりの改善を支援します。

XMおよびRXM
Transportation Manager (XM)(FOUPトランスポート)およびReticle Transportation Manager (RXM)(Reticleトランスポート)は、製造現場でFOUPとレチクルの移送を管理するための自動搬送システムとのインターフェースを提供します。長年にわたる半導体製造における主要な搬送メーカーとのインテグレーション実績が豊富です。


完全な自動化に向けたファブ・オペレーション・シナリオによる実証済みのMES

SiView Standardでは、装置、搬送システム、アプリケーションとの相互作用など、すぐに使用できる約200のファブ・オペレーション・シナリオがMRM (Manufacturing Reference Model)として文書化されています。これにより、最大限のメリットを迅速に実現できます。

完全な自動化に向けたファブ・オペレーション・シナリオによる実証済みのMES


業界標準への準拠(装置、MCS統合)

 
SiView Standardは、SEMI標準(GEM300、IF-A、SLMなど)への準拠を維持しています。SiView Standard はまた、事実上の標準として、主要な 搬送装置メーカーとの標準インターフェースを確立しています。
 
 


高可用性とスケーラビリティー

SiView Standardは、1,300日を超えるノンストップのオペレーションを達成しました。
HAS機能は、複数の「ギガ・ファブ」(または単一の「ギガ・ファブ」)での膨大な量のトランザクションを処理するためのノンストップのオペレーションとスケーラビリティーをサポートします。

HAS: High Availability and Scalability feature
AAS: Always Available System

SiView Standardは、1,300日を超えるノンストップのオペレーションを達成しました。


要件に対応するための継続的な機能拡張

IBMは、このソリューションの価値を向上するためにSiView Standardの機能拡張に継続的な投資を行っています。毎年のユーザー調査とSiView Standardユーザー・コンファレンスで寄せられたお客様の要件は、製品ロードマップに反映されています。

IBM SiView Standardの継続的な機能拡張


グローバルに統合されたマルチファブ管理

SiView Standardは、グローバル統合仕様管理、スケーラブルなMES、クロスファブ・オペレーションのサポートで構成される、グローバルに統合されたマルチファブ管理機能を提供します。

グローバルに統合されたマルチファブ管理機能


完全自動化モードでのフルスコープ・インテグレーション

SiView Standardでは、サード・パーティー・ソフトウェアとのフルスコープでのインテグレーションが可能です。

完全自動化モードでのフルスコープ・インテグレーション


世界中のグローバルなシステム・サポートによる優れたデリバリー

 SiView Standardのデリバリー・チームは、オンタイム・デリバリーの100%成功という記録を達成し続けています。SiView Standardのデリバリー・チームには、世界中に200人を超える担当者がいます。
IBMは、ワンチームによるデリバリーを提供し、ハードウェア、ソフトウェア、インフラストラクチャー、アプリケーションをサポートします。
 


デジタル・トランスフォーメーション

 SiView Standardは、デジタル・トランスフォーメーションに対するIBMの戦略に沿って進化しています。
ハイブリッドクラウド・コンピューティングの実現を目的として、RedHat Enterprise Linuxがサポートされています。

 

廣内 正豪

日本語翻訳監修
廣内 正豪
日本アイ・ビー・エム株式会社
IBMコンサルティング事業本部
Associate Partner

IBMで半導体向け製造工程管理システムSiView Standardの開発及び、国内・海外の半導体製造装置メーカーへの導入サービスに従事。SiView Standardアセット・オーナーとして、それらの経験を活かして製造業のお客様に対するスマートファクトリー実現をリード

 

陳 方竹

日本語翻訳監修
陳 方竹
日本アイ・ビー・エムデジタルサービス株式会社
IBMコンサルティング事業本部
アプリケーション・アーキテクト

半導体向け製造工程管理システムSiView Standard アセット開発・保守の統括部長として、半導体製造のお客様に対するSiView Standardの開発・保守/グローバル導入サービスをリード。

 

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